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高度计


高度计


产品说明

高性能2D测量系统

分辨率/重复精度为0.1/0.5UM,精度可达(1.3+0.6L/600)UM

确保垂直(前部)达6UM,直线度达4UM

全/半空氯浮动系统可调节氯垫

带有基本统计功能,另外,通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连,可实现外部测量数据评估。

半自动测量时具有单键操作功能

通过DIGIMATIC工具实现数据输入

可选仅限518-331K和518-322K型


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